納米三坐標測量機的誤差分離與精度評定.pdf

1、現(xiàn)代制造業(yè)的發(fā)展對三坐標測量機提出更高的速度和精度要求，特別是隨著電子工業(yè)的發(fā)展，精度參數多為納米級的微型儀器不斷出現(xiàn)。本文以正在研制的新型納米三坐標測量機為對象，在研究納米三坐標測量機結構特征和受力分析基礎上，對影響納米三坐標測量機精度的主要誤差源進行分析。根據納米測量機的結構和精度要求，選用測量頭和激光源分開的三光束平面反射激光干涉儀SP2000-TR設計誤差分離裝置，設計了納米測量機各單項誤差的分離方案，實現(xiàn)了測量機示值誤差、角運

2、動誤差、直線度運動誤差的一次性分離。研究基于速度瞬時中心的工作臺導軌誤差高精度分離方法，認為工作臺實際瞬時中心是時變的，進行了工作臺速度中心坐標和任意點的坐標誤差的計算公式的理論推導，從理論上設計了基于運動瞬時中心的誤差分離與修正方法。基于三次樣條插值理論和雙三次樣條插值理論，以編程軟件LabVIEW作為虛擬界面編程平臺，編制誤差曲線擬合程序和曲面擬合程序，為誤差的修正提供軟件基礎。最后，從理論上說明如何對修正后的納米三坐標測量機進行精