納米三坐標(biāo)測量機(jī)模擬探頭系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、對微器件系統(tǒng)進(jìn)行高精度測量的增長需求引起了微/納測量技術(shù)的快速發(fā)展。傳統(tǒng)的三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)由于測量系統(tǒng)的局限性往往只能測量微米或者亞微米級別的器件。作為三坐標(biāo)測量機(jī)最重要的部分，探頭的精度能否達(dá)到納米級別決定著整體三坐標(biāo)測量機(jī)的精度級別。
　　本論文提出了一種適用于納米三坐標(biāo)測量機(jī)的新型高精度接觸模擬式探頭。該探頭基于DVD激光讀取頭、Michelson干涉儀工作原理。探頭構(gòu)成元件包括帶有紅寶石球頭的測桿、懸浮機(jī)構(gòu)和內(nèi)部感測

2、傳感器。測桿固定在十字架中心位置，十字架通過四抓型簧片懸浮機(jī)構(gòu)與探頭外殼連接。當(dāng)測球接觸工件時，測桿偏離，簧片發(fā)生彈性變形，粘貼在十字架上的平面反射鏡的位置將產(chǎn)生位移變化。這些位移將被探頭內(nèi)部傳感器探測得到。
　　本論文針對納米三坐標(biāo)測量機(jī)模擬式探頭的測量范圍、測長分辨力與重復(fù)性精度的要求，通過改進(jìn)探頭內(nèi)部傳感器、設(shè)計(jì)高靈敏的懸浮機(jī)構(gòu)與優(yōu)化數(shù)據(jù)處理方法等途徑來實(shí)現(xiàn)要求。建立了探頭性能測試實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，測試探頭的性能。測試實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明本

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