有機(jī)薄膜光電特性在線測(cè)量方法的研究.pdf

1、隨著有機(jī)薄膜電子器件的快速發(fā)展，有機(jī)半導(dǎo)體薄膜材料特性的研究成為近年來材料和電子研究的熱門。研究表明，薄膜的結(jié)構(gòu)以及表面形貌影響薄膜的電學(xué)特性。因此，為研究有機(jī)薄膜光學(xué)特性和電學(xué)特性的聯(lián)系，本文在現(xiàn)有光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，對(duì)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)以及樣品進(jìn)行了改進(jìn)，提出了光電聯(lián)合測(cè)量方案，實(shí)現(xiàn)了真空環(huán)境下有機(jī)薄膜光電特性的在線測(cè)量。
　　本文的主要內(nèi)容如下：
　　1、研究了有機(jī)薄膜的光電特性以及其導(dǎo)電機(jī)理，分析、對(duì)比現(xiàn)有的有機(jī)薄膜光電

2、特性的測(cè)量方法。根據(jù)薄膜表面形貌實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和電學(xué)特性實(shí)時(shí)測(cè)量的需求，設(shè)計(jì)了光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)和可控電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)結(jié)合的光電聯(lián)合測(cè)量方案。
　　2、研究了有機(jī)薄膜電學(xué)特性場(chǎng)效應(yīng)晶體管測(cè)量法的原理，設(shè)計(jì)并制作了電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，包括離線測(cè)量和在線測(cè)量。該測(cè)量系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)測(cè)量模式（包括定值、定時(shí)和循環(huán)等）的實(shí)時(shí)切換。在原有的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)光路中加入了校準(zhǔn)光路，通過實(shí)時(shí)校準(zhǔn)減小光譜信號(hào)的漂移。
　　3、研究了有機(jī)薄膜特性測(cè)量所需樣品的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了

3、具有梳齒狀的樣品結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)表明，該結(jié)構(gòu)滿足了測(cè)試需求，取得了較好的結(jié)果。
　　4、針對(duì)本文的測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行性能測(cè)試，得出其電壓范圍為?0.2V~?60V，測(cè)量電流精度為100 pA，滿足了有機(jī)薄膜的測(cè)量需求（電壓±30 V，電流μA級(jí)）。利用該系統(tǒng)進(jìn)行了離線和在線樣品的測(cè)試。根據(jù)測(cè)得的電學(xué)信號(hào)，得到了樣品的特性曲線和載流子遷移率等有機(jī)薄膜的電學(xué)特性參數(shù)。根據(jù)測(cè)得的光學(xué)信號(hào)，分不同區(qū)域進(jìn)行分析，得到了有機(jī)薄膜的生長(zhǎng)信息。同時(shí)測(cè)試了加電