面陣CCD橢圓偏振光譜系統(tǒng)的實驗研究及其應用.pdf

1、該文的工作主要是集中在橢圓偏振光譜儀的介紹、研制、制作及其數據測量和分析上.實驗中研制了一臺旋轉起偏器光度式CCD橢圓偏振光譜儀.論文中討論了其基本原理、具體調節(jié)安裝過程以及幾種半導體介質材料的分析,主要內容如下:首先介紹了一些橢圓偏振光譜的發(fā)展歷史及其橢偏在現代研究領域中的應用,在第二章中我們詳細討論了作為橢偏儀必不可少的分光器件一單色儀中各部分元器件的原理.包括光柵、濾色片、單色儀架構以及作為探測系統(tǒng)的CCD面陣探測器,作為現代光譜

2、分光的唯一器件,在光譜測量中起著至關重要的作用.第三章我們詳細介紹了橢偏測量的幾種模型結構.對于不同物理結構的樣品,如體材料、單層膜及多層膜燈類型的材料結.應用不同方法去獲得其光學常數.對于體材料,橢偏測量得到的數據就直接為該種材料的光學參數;而對于后面兩種結構,橢偏測量得到的僅僅是其橢偏參數,即兩束偏振光的振幅比和相位差,我們必須建立正確的理論模型,對其進行擬合和分析才能得到材料的各項光學常數.在第四章我們詳細描述了自己設計的面陣CC