傾斜多焦點Fresnel二元光學元件的優(yōu)化方法和制作研究.pdf

1、二元光學技術已廣泛應用于各個領域。在光學信息存儲、記錄和處理、光學互連、多通道光學信息處理系統(tǒng)及多目標圖像識別系統(tǒng)等領域，都需要長焦深、多焦點的二元光學元件，基于這樣的應用背景，本文研究了多焦點Fresnel二元光學元件的優(yōu)化方法和制作?！　∫詷肆垦苌淅碚摓榛A，分析了菲涅耳衍射的物理意義，并詳細推導了傾斜焦平面的菲涅耳衍射公式，以此為理論依據設計傾斜多焦點Fresnel二元光學元件。論述了常用的優(yōu)化方法，即迭代傅立葉算法和模擬退火算

2、法，并對優(yōu)化算法進行了改進，意在用于傾斜多焦點Fresnel二元光學元件的設計和制作。介紹了分布多焦點Fresnel二元光學元件的設計方法，和傾斜多焦點Fresnel二元光學元件優(yōu)化算法作了比較，指出本文采用的優(yōu)化方法具有優(yōu)化速度快，元件衍射效率高等優(yōu)點。利用方光點激光光刻系統(tǒng)分別制作了兩臺階和四臺階的傾斜多焦點Fresnel二元光學元件，給出了實驗結果并進行了分析?！　”疚奶岢龅膬?yōu)化方法是設計多焦點菲涅耳衍射元件很有效的方法，它具有