超寬帶射頻前端聲表面波濾波器的設(shè)計(jì).pdf

1、基于聲表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)技術(shù)的濾波器由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能出色、損耗低、成本低、小型化、可大批量生產(chǎn)等眾多優(yōu)點(diǎn)而受到了人們的廣泛關(guān)注，在電子器件的射頻前端，尤其是在手機(jī)的射頻前端中都需要使用到大量的SAW濾波器，用于滿足不同通訊協(xié)議的需求。近幾年來(lái)，隨著新一代通訊標(biāo)準(zhǔn)4G長(zhǎng)期演進(jìn)技術(shù)（Long Term Evolution，LTE）的出現(xiàn)，手機(jī)射頻前端中的濾波器需要能夠?qū)崿F(xiàn)更大的帶寬以滿足LTE頻

2、段的需求，對(duì)于超寬帶射頻前端SAW濾波器的研究如今已經(jīng)成為了一個(gè)熱門(mén)的課題。
　　濾波器的電路主要是由數(shù)個(gè)諧振器構(gòu)成，而SAW諧振器能夠?qū)崿F(xiàn)的最大帶寬主要取決于諧振器中壓電材料的機(jī)電耦合系數(shù)K2，因此本文主要針對(duì)提高SAW濾波器的帶寬，對(duì)兩種擁有較高K2的新型壓電材料進(jìn)行研究：鈮酸鋰晶體絕緣體(Lithium Niobate on Insulator，LNOI)的薄膜單晶和弛豫鐵電單晶鈮銦鎂酸鉛PIMNT。首先，通過(guò)使用有限元法（

3、Finite Element Method,FEM）的仿真軟件COMSOL，分別建立兩種使用不同壓電材料的單端SAW諧振器的仿真模型，研究該諧振器模型在不同電極的材料與厚度、不同壓電材料的厚度以及不同歐拉角情況下的SAW傳播性能，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行SAW諧振器的制備，將測(cè)量結(jié)果與仿真結(jié)果進(jìn)行比較以確保仿真結(jié)果的精確性與可行性。然后根據(jù)獲得的SAW諧振器的性能，以傳統(tǒng)的梯形濾波器電路為基礎(chǔ)進(jìn)行SAW濾波器電路的設(shè)計(jì)與研究。通過(guò)使用電路模擬軟件