工業(yè)潔凈室的微環(huán)境氣流組織模擬.pdf

1、隨著人們生活水平的不斷提高，潔凈技術廣泛應用于醫(yī)療、微生物、微電子技術等對環(huán)境要求相當高的行業(yè)。半導體技術也對潔凈技術提出更高要求，傳統(tǒng)的潔凈室已不能滿足當今潔凈環(huán)境的要求，潔凈室特別是高級別的其初投資大，運行管理費用高，因此，微環(huán)境技術便應運而生——SMIF（標準機器接口）隔離技術。本論文介紹了該項技術的國內外研究情況，顯示了SMIF技術將成為21世紀高級別潔凈技術的主流。 潔凈室的潔凈度與氣流組織相互緊密聯(lián)系著。為了使微環(huán)境

2、內的潔凈度達到1級的潔凈級別，環(huán)境內的渦流區(qū)域必須盡量減少或者消除；因此，在流場內的速度梯度與壓力梯度應盡可能控制在小的范圍。一直以來，國內潔凈室對于氣流組織的設計確定主要以工程經驗為主；利用CFD模擬技術，我們可以預測氣流流場中的存在問題，及早提出改善工程方案，指導工程實際應用。 本文采用常用的CFD軟件，采取紊流二方程模型，應用SIMPLE方法。在軟件中建立模型，修改邊界條件，進行數(shù)據處理，對SMIF隔離潔凈室的流動特性進行