壓電陶瓷微位移驅(qū)動器輸出特性的研究.pdf

1、作為前沿科技一納米技術發(fā)展的關鍵技術之一,精密定位技術己成為許多現(xiàn)代工業(yè)領域和前沿科學技術研究的共同基礎.壓電陶瓷微位移驅(qū)動器具有體積小,位移分辨率高,頻響高,承載力大等特點,廣泛應用于精密定位技術中.但是,由于壓電陶瓷微位移驅(qū)動器本身固有的遲滯、蠕變特性,給精密定位系統(tǒng)的控制帶來了困難.所以如何建立壓電陶瓷微位移驅(qū)動器非線性模型,進行精確的控制來提高精密定位系統(tǒng)控制精度就顯得尤為重要. 本文在分析國內(nèi)外壓電陶瓷微位移驅(qū)動器研究

2、現(xiàn)狀的基礎上,闡述了壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的驅(qū)動原理,并從微觀角度給予進一步的說明.對壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的特性進行了分析,同時設計了加載裝置,在不同的載荷下測定了壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的輸出特性.針對壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的位移遲滯特性,對測得的數(shù)據(jù)進行了正交試驗處理,采用回歸分析方法和BP神經(jīng)網(wǎng)絡,建立了有負載的壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的位移輸出特性的數(shù)學模型,并進行了實驗驗證.結(jié)果表明,所建立的模型能較好地模擬壓電陶瓷微位移驅(qū)動器的遲滯特性