基于虛擬儀器的壓力傳感器自動(dòng)補(bǔ)償校正系統(tǒng).pdf

1、擴(kuò)散硅壓力傳感器的基本原理是利用硅晶體的壓阻效應(yīng)。這種傳感器通常具有靈敏度高，線性好的特點(diǎn)。但由于IC制造工藝和器件的溫度特性等因素,這種傳感器會(huì)有零點(diǎn)誤差、靈敏度誤差和溫度漂移的缺點(diǎn)，且每個(gè)傳感器的誤差值不一樣。因此需要對(duì)每個(gè)壓力傳感器的誤差進(jìn)行校正，對(duì)溫度漂移進(jìn)行補(bǔ)償。
　　 本文針對(duì)壓力傳感器的誤差和溫度漂移問題，提出了一種用于減小壓力傳感器的誤差和降低溫度漂移的方法，該方法將傳感器組件，即壓力傳感器和專用信號(hào)調(diào)理芯片的組

2、合作為補(bǔ)償校正的對(duì)象，通過設(shè)置專用信號(hào)調(diào)理芯片中相關(guān)寄存器的參數(shù)值來(lái)提高傳感器性能，推導(dǎo)了傳感器組件的輸出電壓與壓力、溫度的關(guān)系，并在此基礎(chǔ)上提出了一種基于虛擬儀器技術(shù)的壓力傳感器自動(dòng)補(bǔ)償校正系統(tǒng)。該系統(tǒng)能自動(dòng)測(cè)出傳感器的壓力－溫度－輸出電壓值的關(guān)系，并自動(dòng)地對(duì)壓力傳感器的零點(diǎn)誤差和靈敏度誤差進(jìn)行校正，對(duì)溫度漂移進(jìn)行補(bǔ)償。本系統(tǒng)由壓力傳感器組件、多路復(fù)用開關(guān)、高低溫實(shí)驗(yàn)箱、可程控直流電源、可程控壓力控制器、PCI6221（數(shù)據(jù)采集控制卡

3、）、PCI-GPIB卡、PC工作站組成。本文結(jié)合虛擬儀器技術(shù)和LabVIEW語(yǔ)言的編程環(huán)境，分析了該系統(tǒng)各部分的功能與實(shí)現(xiàn)方法。實(shí)際測(cè)試顯示，經(jīng)補(bǔ)償校正后，傳感器組件在溫度漂移、靈敏度誤差和零點(diǎn)誤差這三個(gè)方面的性能都有很大的提高。經(jīng)過該系統(tǒng)對(duì)壓力傳感器進(jìn)行補(bǔ)償校正后，傳感器的溫漂由0.151%下降到0.0238%，零點(diǎn)誤差由3.98%下降到1%，靈敏度相對(duì)誤差由6.23%下降到0.52%。該系統(tǒng)可高效地對(duì)壓力傳感器進(jìn)行補(bǔ)償校正，且補(bǔ)償校