三軸硅微加速度計的集成設計與實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微機械加速度計具有體積小、壽命長、功耗低和易于批量生產(chǎn)的特點，廣泛應用于戰(zhàn)術導彈中段制導、靈巧炸彈和各種相對低精度的商用場合。隨著科學技術的發(fā)展和軍事、商業(yè)市場的需求，尤其是作為微慣性測量單元(MIMU)重要組成部分，高精度三軸單片集成微加速度計成為目前研究的熱點。 本文采用微機電集成設計方法完成了一種三軸全差分電容式微加速度計的設計，并結合自行設計的接口檢測電路進行了初步測試。論文主要的研究內(nèi)容如下： 1.建立了線加速

2、度計和擺式加速度計的數(shù)學模型，以最大檢測靈敏度為優(yōu)化目標設計了微加速度計的敏感電容結構和彈性連接結構，并對結構的滑膜阻尼和壓膜阻尼進行了分析。 2.采用微機電集成設計方法建立了三軸微加速度計的系統(tǒng)級模型，進行了頻域和時域的仿真；建立了三軸微加速度計的實體模型，進行了靜力分析和模態(tài)分析；設計了工藝版圖和工藝流程。 3.研究了多種小電容檢測電路，設計了基于電荷放大器原理的開關相敏解調(diào)檢測方案，通過實驗測試，有效地檢測出小電容

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