基于動態(tài)應用的寬頻帶壓電陶瓷驅(qū)動電源的研究.pdf

1、隨著科學技術(shù)的發(fā)展和研究領(lǐng)域的不斷擴展，操作對象已從宏觀領(lǐng)域深入到微觀領(lǐng)域。為完成微細電火花加工、內(nèi)燃機燃油噴射、掃描探針電子顯微鏡的高速掃描、打印機及復印機的壓電噴墨、高性能硬盤驅(qū)動等微納米級操作，不僅需要達到一定的定位精度，而且對系統(tǒng)動態(tài)性能及有效帶寬的要求也越來越高。作為納米級定位領(lǐng)域的一種新型材料，壓電陶瓷微位移器具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無噪聲、不發(fā)熱等特點，是一種理想的微位移元件。在高速定位條件下，目前實際應用中的壓

2、電陶瓷驅(qū)動電源普遍存在帶載能力顯著下降，閉環(huán)頻響帶寬較窄等缺點。 針對壓電陶瓷驅(qū)動存在的上述問題，本文通過分析電壓型驅(qū)動器原理及電路參數(shù)，提出了一種基于反饋零點補償和噪聲增益補償技術(shù)的混合型補償方法。利用該技術(shù)對壓電陶瓷驅(qū)動放大模塊進行補償后，有效地提高了驅(qū)動模塊的頻帶帶寬及動態(tài)性能。 針對壓電陶瓷驅(qū)動電源在動態(tài)應用中需要利用各種動態(tài)波形作為輸入信號的要求，設(shè)計了一種基于FPGA的直接數(shù)字頻率合成(DDS)波形發(fā)生系統(tǒng)。