聲光調制在激光光強控制中的理論與應用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文詳細討論了聲光調制器(AOM)在激光光強控制中的理論和應用,把AOM用于二元光學掩模制造的關鍵技術即激光直接寫入系統(tǒng)中的曝光光功率控制.通過對聲光互作用機理的深入研究,設計出了適用于該激光直接寫入系統(tǒng)的以氧化碲晶體(TeO<,2>)作為聲光互作用介質的聲光調制器,應用該調制器可實現曝光光功率的連續(xù)調節(jié).同時論文設計了光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),采用采樣+1級衍射光控制+1級的方式.使得系統(tǒng)在激光器有較大的噪聲輸出(約20﹪~30﹪)時,也

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