激光多普勒微機(jī)電系統(tǒng)運(yùn)動檢測電路與軟件設(shè)計(jì).pdf

1、微機(jī)電系統(tǒng)是集微型機(jī)械、微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理、智能控制于一體綜合型系統(tǒng)，在國防、通信、汽車、生命科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的運(yùn)用。近年來，隨著微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的迅速發(fā)展，對器件運(yùn)動性能檢測的需求也日益迫切。 本文主要探討了基于激光差動多普勒原理的微機(jī)電系統(tǒng)的運(yùn)動檢測技術(shù)，研究測量微型振子等微機(jī)電器件的瞬時(shí)速度、位移、加速度等運(yùn)動參數(shù)的方法。論文在前期的探索上，對原測量系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)、特別是信號處理模塊和硬件設(shè)計(jì)進(jìn)行了改進(jìn)和優(yōu)化。

2、 改進(jìn)了原系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了符合測量要求的微小光斑，降低了光斑內(nèi)的速度梯度。采用了時(shí)頻分析的方法，優(yōu)化了軟件處理模塊，提高了系統(tǒng)的測量精度。設(shè)計(jì)了信號的采集處理電路，替代數(shù)據(jù)采集卡進(jìn)行采集和處理，降低了系統(tǒng)的成本，并為將來系統(tǒng)的便攜化、高效測量研究進(jìn)行了先期探索，提供一定的研究基礎(chǔ)。 在對諧振器進(jìn)行運(yùn)動檢測的基礎(chǔ)上，論文還對器件的振型進(jìn)行了初步的分析，獲得諧振器的固有振型。 通過對一系列微機(jī)電系統(tǒng)諧振器樣品、