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文檔簡介
1、厚膜混合集成技術由于其低廉的成膜技術以及高可靠性,使得其在低頻領域得到了廣泛的應用。然而由于以往成膜漿料的特性以及成膜方法的限制,使得傳統(tǒng)的厚膜工藝不可避免地使成膜邊緣不齊,表面不平整,膜的致密性較差,從而使得其高頻特性遠不如薄膜技術。 本文從厚膜工藝的數(shù)學理論基礎和材料出發(fā),提出利用一種厚薄膜工藝相結合技術來提高用厚膜制作微帶的質量,極大提高了厚膜的高頻特性。在這之后利用此工藝與傳統(tǒng)的厚膜工藝相結合,提出制作X波段混頻器,將其
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