CMOS集成二維熱流量傳感器的研究.pdf

1、該文基于國內外現(xiàn)有的研究成果,通過大量的研究和論證,提出了一個具有新型對稱結構的CMOS集成二維熱流量傳感器.文中具體闡述了此傳感器的工作原理,設計過程以及制作方法和最后的測試結果.在傳感器的設計過程中,該文進一步發(fā)展了一個熱電薄膜結構的流量傳感器的熱學模型,利用改進后的分析模型具體探討了傳感器性能參數(shù)（如靈敏度、探測率和熱時間常數(shù)）與其幾何尺寸的關系,用曲線形式所表示的分析結果為此類傳感器的優(yōu)化設計提供了依據.待傳感器的幾何尺寸和結構

2、布局以及加工工藝確定后,該文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN CFD對其進行了具體的模擬和分析.其模擬分析結果與傳感器實際測量的結果對比,發(fā)現(xiàn)二者基本吻合,從而為進一步優(yōu)化設計此傳感器提供了一個簡單而有效的方法.最后,對此傳感器進行了具體的加工和測量,測試結果表明此傳感器性能良好,達到了預期的結果.綜合而言,此傳感器具有節(jié)省芯片面積、靈敏度高、體積小、易于集成和性能優(yōu)越等優(yōu)點,同時在工藝、封裝以及系統(tǒng)集成等方面還存在一些問題