微波等離子體化學氣相沉積法制備鋅及氧化鋅納米材料的探索.pdf

1、微波等離子體化學氣相沉積(MPECVD)是利用微波使反應腔(一般為石英管)中的低壓氣體發(fā)生輝光放電而產(chǎn)生低溫等離子體，利用等離子體中的高能電子和反應原料產(chǎn)生非彈性碰撞而使原料電離或激發(fā)，降低化學反應所需的能量，從而在相對較低的溫度下實現(xiàn)化學氣相沉積的過程。在文獻報道中，MPECVD法常用作薄膜沉積、表面改性、有機氣相合成以及超細氧化物粉末的制備等。本論文在微波等離子體化學氣相沉積法制備納米材料方面進行了如下探索： 1、以微波等離

2、子體為加熱手段，在低氣壓、低氣流的情況下氣相沉積制備得到了活潑金屬鋅的納米球狀單晶顆粒，對其進行了掃描電鏡(SEM)、高分辨透射電鏡(HRTEM)以及能譜面掃等表征以確定其成分及結構，并提出了可能的生長機理。 2、在微波等離子體的加熱下，以乙醇作為稀釋氣體，在受激鋅蒸汽的作用下，首次以氣相沉積法在硅片上制備得到了無定形二氧化硅納米空心微球。 3、以鋅粉為原料在無催化劑輔助誘導的情況下用化學氣相沉積法(CVD)制備得到了氧