Ag-ITO-g多層薄膜的制備、微結(jié)構(gòu)及光電性質(zhì)表征.pdf

1、利用高反射、高電導(dǎo)的金屬Ag和透明導(dǎo)電ITO多層復(fù)合制備透反射式高電導(dǎo)Ag/ITO/Ag多層薄膜，將該多層薄膜用作透反射式液晶顯示器的下電極材料，可以提高透反射式液晶顯示器的性能，所以對(duì)Ag/ITO/Ag多層薄膜體系開(kāi)展研究具有重要的理論意義和實(shí)用價(jià)值。
　　 本文制備了一系列透反射式高電導(dǎo)Ag/ITO/Ag多層復(fù)合薄膜，Ag/ITO/Ag多層復(fù)合薄膜由表層Ag膜、夾層ITO膜和底層Ag膜構(gòu)成，重點(diǎn)研究了不同表層Ag膜厚度對(duì)多層

2、薄膜的微結(jié)構(gòu)、表面形貌和光電特性的影響。采用效能因子和分光比對(duì)Ag/ITO/Ag多層復(fù)合薄膜綜合品質(zhì)因素進(jìn)行了評(píng)價(jià)。
　　 本文主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)：
　　 1．利用兩層Ag膜和一層ITO膜的復(fù)合，制備出“三明治”結(jié)構(gòu)的透反射式高電導(dǎo)Ag/ITO/Ag多層薄膜，這種膜系結(jié)構(gòu)可以提高多層薄膜的電導(dǎo)率和反射率，形成光電性能優(yōu)異的Ag/ITO/Ag多層薄膜。將多層薄膜用于透反射式LCD的下電極材料，改善透反射式LCD的性能。
　　

3、 2．采用磁控濺射技術(shù)制備了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復(fù)合薄膜。將Ag/ITO/Glass與ITO/Ag/Glass復(fù)合薄膜微結(jié)構(gòu)，光電特性進(jìn)行了對(duì)比研究。
　　 本文主要研究?jī)?nèi)容：
　　 1．采用直流磁控濺射技術(shù)制備了膜厚為9.3nm的底層Ag薄膜，采用X射線衍射儀，表面輪廓儀，紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)和四探針測(cè)試儀對(duì)底層Ag膜的微結(jié)構(gòu)，膜厚和光電特性進(jìn)行了研究。
　　 2．采用直流和射頻磁

4、控濺射技術(shù)制備了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復(fù)合薄膜。利用X射線衍射儀分析了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復(fù)合薄膜的微結(jié)構(gòu)，利用紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)和四探針測(cè)試儀表征了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass復(fù)合薄膜的光電性能。
　　 3．本實(shí)驗(yàn)制備了不同表層Ag膜厚度的Ag/ITO/Ag多層薄膜。X射線衍射分析表明，隨著表層Ag膜厚度的增大，Ag(111)衍射峰的增強(qiáng)，且Ag

5、/ITO/Ag多層薄膜中的Ag平均晶粒尺寸增大。
　　 4．紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)分析表明，隨著表層Ag膜厚度的增加，Ag/ITO/Ag多層薄膜在可見(jiàn)光范圍內(nèi)的平均透過(guò)率先增加后降低，Ag3/ITO/Ag樣品的透射率高達(dá)56.51％;Ag/ITO/Ag多層薄膜在可見(jiàn)光范圍內(nèi)的平均反射率增加。Ag/ITO/Ag多層薄膜的吸收先減小后增大。電學(xué)測(cè)試表明，隨著表層Ag膜厚度的增加，Ag/ITO/Ag多層薄膜的電阻率先減小后略有增加，尤其