電容式壓力傳感器檢測電路設計.pdf

1、傳感器是獲取信息的主要元件。多層膜結構的電容式壓力傳感器具有高靈敏度,良好的穩(wěn)定性,以及低溫度系數(shù)等優(yōu)點,近年來得到了極大關注與重視,而檢測壓力信息的電路系統(tǒng)則是發(fā)揮其優(yōu)勢的重要技術基礎與關鍵。
　　 本論文在對多層膜電容式壓力傳感器結構模型、原理等研究分析基礎上,基于靈敏度等關鍵技術參數(shù)完成了其檢測電路的系統(tǒng)結構設計和模塊電路設計。檢測電路的基本設計原理是將傳感器的弱電容信號轉(zhuǎn)化為電壓信號,所設計的系統(tǒng)結構主要包括振蕩器、限幅

2、器、鑒頻器和放大器等電路。其中,振蕩器的任務是把電容的變化體現(xiàn)為電壓的改變,根據(jù)幾種電路的優(yōu)缺點比較,最終采用調(diào)頻電路進行檢測電路的設計。限幅器用來限制幅值的變化,并使幅值成為定值,并使輸出量的變化只有△f,以它作為判斷被測量的大小。鑒頻器則是用來使整個系統(tǒng)線性化,并將頻率信號轉(zhuǎn)換為電壓輸出至放大器,最后再加入放大器將電壓放大。
　　 為驗證所設計檢測電路的可行性,論文分別對各模塊電路和系統(tǒng)電路進行了仿真分析。仿真結果表明,各模