頻率選擇表面的仿真、加工與測試研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、頻率選擇表面(frequency selective surface,F(xiàn)SS)是一種周期性平面二維陣列結(jié)構(gòu),其本質(zhì)是一個空間電磁濾波器。當電磁波與FSS相互作用時,F(xiàn)SS會表現(xiàn)出明顯的帶通或帶阻的電磁波透射特性。FSS擁有良好的頻率選擇和極化選擇特性,能夠有效控制電磁波的傳輸與反射。隨著科技的不斷進步與發(fā)展,頻率選擇表面已經(jīng)越來越多的應(yīng)用于微波、紅外波及可見光波段領(lǐng)域。
  近些年,國內(nèi)外的學者及研究機構(gòu)對 FSS進行了各種深入的

2、研究與分析,人們對FSS各種特性的認識也越趨完善。
  本文對頻率選擇表面進行了以下的研究:利用CST MWS仿真軟件對118 GHz頻率選擇表面以及183 GHz頻率選擇表面進行仿真,研究了它們的頻率響應(yīng)特性,以及線寬、周期長度、結(jié)構(gòu)片厚度以及墊片厚度對頻率響應(yīng)曲線的影響。利用UV-LIGA加工技術(shù)對118 GHz頻率選擇表面和183 GHz頻率選擇表面進行加工,并對樣品進行測試。利用掃描電子顯微鏡(scanning elect

3、ron microscope,SEM)對樣品進行測量,測量樣品的線寬、周期長度以及結(jié)構(gòu)片厚度。同時,利用近場掃描法測試118 GHz頻率選擇表面的傳輸特性和反射特性。經(jīng)試驗證明,在滿足指標要求的情況下,利用UV-LIGA技術(shù)加工的樣品具有良好的尺寸特性,樣品側(cè)壁陡直,并且118 GHz頻率選擇表面樣品的線寬誤差為±0.6μm;周期長度誤差為±2μm;結(jié)構(gòu)片厚度誤差為±1μm。對于183 GHz頻率選擇表面而言,線寬誤差為±2.7μm;周

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