基于LabVIEW的四探針法薄層電阻測試系統(tǒng)研究.pdf

1、在半導體的生產和制造過程中，電阻率是檢測半導體材料摻雜濃度的一個重要性能指標，因此測試微區(qū)電阻率成為了加工芯片時的一道重要工序。四探針技術是測量微區(qū)電阻率的常用測量手段，它包括豐富的理論，已經在半導體生產中得到了廣泛的應用。隨著集成電路的快速發(fā)展，對半導體材料提出了更高的要求，不僅要求設計工具完善，還需要操作可靠、精度高的測試手段。論文以四探針法測量原理為基礎，利用LabVIEW軟件搭建的薄層電阻測試系統(tǒng)，實現對薄層電阻的測量，解決了傳

2、統(tǒng)測量測量速度慢、測量精度低的缺點，具有很高的應用價值。主要研究內容包括：
　　首先，介紹了國內外薄層電阻測試技術的發(fā)展現狀，對虛擬儀器和LabVIEW軟件進行相應描述，總結了虛擬儀器相對于傳統(tǒng)儀器的優(yōu)勢。對常規(guī)直線四探針測量法、范德堡法、改進的范德堡法、斜置式方形四探針法進行比較，分析各自優(yōu)缺點。選擇常規(guī)直線四探針測量原理作為測試系統(tǒng)的理論基礎。
　　其次，根據測試系統(tǒng)應該具有快速測量、準確測量等特點。對測試系統(tǒng)整體規(guī)劃，

3、將測試系統(tǒng)分別進行硬、軟件設計，為了使設計更加清晰，繪制了技術路線流程圖和測試系統(tǒng)的總體結構圖。
　　對測試系統(tǒng)的硬件部分進行了整體設計，測試系統(tǒng)的硬件由恒流源電路、模擬通道、放大電路、濾波電路、溫度傳感器、數據采集卡、計算機七部分組成，詳細的描述了各個電路在整個系統(tǒng)中的作用，利用軟件繪制相應的電路圖。并根據實驗需求選擇適合系統(tǒng)的溫度傳感器和數據采集卡。LabVIEW具有很強的數據采集和信號處理能力，本文的軟件部分主要使用該軟件進