基于電容傳感器的微小孔徑測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著當(dāng)代科技和制造水平的飛速發(fā)展，微小孔器件被廣泛應(yīng)用于諸多工業(yè)領(lǐng)域，對(duì)其加工和檢測(cè)精度的要求也越來越高?？讖绞强滋卣髦凶钪匾膸缀我兀讖綑z測(cè)是判斷孔質(zhì)量是否合格的主要手段。微小孔器件的孔徑一般對(duì)所屬產(chǎn)品的功能實(shí)現(xiàn)有很大影響，由于測(cè)量空間的限制，微小孔孔徑的檢測(cè)難度較大。因此，微小孔徑的高精度測(cè)量是當(dāng)前國(guó)內(nèi)外幾何量精密測(cè)量領(lǐng)域的重要研究方向。
　　論文在綜述現(xiàn)有國(guó)內(nèi)外關(guān)于微小孔徑測(cè)量方法的基礎(chǔ)上，結(jié)合測(cè)量的實(shí)際需要，提出一種接

2、觸式測(cè)量方法——基于電容傳感器的微小孔徑測(cè)量方法，主要研究工作包括：
　?。?）提出一種基于電容傳感器的微小孔徑檢測(cè)方法，該方法以電容傳感測(cè)頭為核心測(cè)量元件，借助長(zhǎng)度量計(jì)量?jī)x器實(shí)現(xiàn)對(duì)微小孔徑的測(cè)量。闡述了測(cè)頭的工作原理，確定了測(cè)桿的側(cè)向位移量與電容值變化量之間的關(guān)系，并分析了測(cè)頭的檢測(cè)靈敏度。
　?。?）建立了測(cè)頭的力學(xué)模型，得到測(cè)頭中測(cè)桿側(cè)向位移值的解析表達(dá)式。建立了測(cè)頭有限元模型并用ANSYS Workbench對(duì)測(cè)頭主