基于石墨烯材料的微波納機電諧振器研究.pdf

1、微波機電諧振器在高品質因素微波器件、高靈敏度傳感器、單分子檢測器和宏觀量子效應檢測等領域上有著廣闊的應用前景。由于石墨烯材料具有納米級物理尺寸、二維平面物理結構、優(yōu)秀的機械性能和電性能,因此石墨烯納機電諧振器在器件制備、激勵與檢測等關鍵技術上具有其它材料器件無法比擬的優(yōu)勢,是目前納機電系統(tǒng)(NEMS)的熱門材料。然而由于器件結構不完善和制備工藝不夠成熟,目前石墨烯納機電諧振器的最高工作頻率仍低于200MHz。
　　為實現(xiàn)石墨烯微波

2、納機電諧振器,本文對納機電諧振器的物理機理與特性進行研究,分析各個物理參量對諧振器諧振頻率的影響,對實現(xiàn)微波頻段的石墨烯納機電諧振器具有一定的指導意義?；谑╉敄沤Y構FET的高頻工作特性,對石墨烯納機電諧振器的高頻工作特性進行分析。為了方便器件的設計和優(yōu)化,本文采用等效電路方法對石墨烯納機電諧振器進行場效應模型與機械振動模型的關聯(lián)研究,即機電效應的研究。并基于微波半導體器件特性,提出了基于諧振溝道晶體管(RCT)的激勵與檢測方法,利