高頻復合超聲掃描探針顯微鏡系統(tǒng)研制及應用研究.pdf

1、納米級超高分辨率顯微成像是檢測納米尺度結構和性質的重要手段，尤其是能同時表征科學樣品和工業(yè)產(chǎn)品表面及內部納米結構信息的顯微成像儀器，在材料、醫(yī)學、生物工程、納米制造等基礎研究與應用工程領域具有至關重要的作用。本文在掃描探針顯微鏡的基礎上，結合超聲波的特性研發(fā)出來一種新型顯微成像技術——高頻復合超聲掃描探針顯微鏡，在獲得樣品形貌像的同時，能無損地獲得樣品內部納米級結構的聲學像。本論文用標準定標物及設計的樣品對高頻復合超聲掃描探針顯微鏡的常

2、用技術指標進行檢測；通過測量，儀器的橫向分辨率及垂直分辨率可達0.13nm，空間定位精度可達0.03nm，最大掃描范圍可達105μm×105μm，內部超聲圖像分辨率小于50nm，內部超聲檢測深度至少達到100μm。本文還設計了不同領域的樣品進行應用研究，研究分析采集到的樣品圖像，并建立相應領域的樣品數(shù)據(jù)庫，為以后儀器的研發(fā)及應用提供了實驗數(shù)據(jù)。高頻復合超聲掃描探針顯微鏡作為一種重要的測量儀器，是納米尺度結構和性質檢測的重要工具，在物理材