基于巨磁電阻效應的角度傳感器研究.pdf

1、隨著工業(yè)技術的發(fā)展,航空、機械、汽車、自動化等各個行業(yè)對傳感器的需求越來越大,對其精度、功耗、可靠性、微型化、集成化、智能化等要求也越來越高。開發(fā)新型原理和結構的傳感器備受關注。而巨磁電阻效應的發(fā)現為傳感器領域帶來了新活力。巨磁電阻效應是指材料的電阻率隨外界磁場變化而顯著變化的現象。利用巨磁電阻效應設計制作的傳感器具有靈敏度高、功耗低、體積小、穩(wěn)定性好及非接觸式測量等優(yōu)點,開發(fā)巨磁電阻傳感器已經成為國內外的研究熱點。
　　 本課

2、題研究內容是基于巨磁電阻效應的角度傳感器的設計與實現。自旋閥巨磁電阻材料是眾多巨磁電阻材料的一種,它對弱磁場敏感,而且在飽和磁場范圍.內其電阻率只與磁場方向有關,而幾乎與磁場強度無關。這一特性非常適合測量角度變化,因此可以根據這一效應設計制作角度傳感器。
　　 論文首先介紹了巨磁電阻效應的原理、應用、發(fā)展現狀,以及自旋閥巨磁電阻感測角度的原理,研究了自旋閥巨磁電阻多層膜的性質,并設計了自旋閥巨磁電阻敏感元件結構。